檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "王孟菊".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="雙極板"
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本實驗利用微影製程與薄膜濺鍍製程成功地製作出以矽基材作為雙極板的微型燃料電池,並針對氧氣流量、氫氣流量和操作溫度的改變來探討對電池性能的影響。 在矽基材的蝕刻方面,本實驗成功地以濕式蝕刻法製…